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　　性能特點(diǎn)

　　1.壓電平移臺(tái)采用高性能的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)

　　2.具有開(kāi)環(huán)和閉環(huán)兩種規(guī)格型號(hào)

　　3.采用數(shù)控、線(xiàn)切割等加工工藝，嚴(yán)格保證構(gòu)結(jié)精度

　　4.采用計(jì)算機(jī)有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計(jì)方法設(shè)計(jì)微動(dòng)結(jié)構(gòu)

　　5.采用先進(jìn)的表面處理工藝，提高了適應(yīng)不同工作環(huán)境的能力

　　6.超高性能的開(kāi)/閉環(huán)掃描平臺(tái)

　　壓電平移臺(tái)內(nèi)部使用無(wú)摩擦及空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，壓電平移臺(tái)采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，復(fù)合式的柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度、有效消除側(cè)向運(yùn)動(dòng)分量，同時(shí)具有高剛性、高負(fù)載、無(wú)磨損、免維護(hù)等特點(diǎn)。超大行程2000μm，壓電納米定位臺(tái)內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋，確保了壓電平移臺(tái)具有的運(yùn)動(dòng)控制精度，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí)，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)。壓電平移臺(tái)為無(wú)磁材質(zhì)，使用過(guò)程中不產(chǎn)生磁場(chǎng)同時(shí)也不受磁場(chǎng)的影響。