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芯明天放大機構(gòu)式壓電納米定位臺特性

2~3維運動

位移行程40μm

體積小巧

亞毫秒響應時間

二、三維平移臺

P13壓電納米定位臺，包括二維XY軸、三維XYZ軸兩個規(guī)格型號。

芯明天放大機構(gòu)式壓電納米定位臺閉環(huán)階躍穩(wěn)定時間圖

P13.XY閉環(huán)版本40μm行程的穩(wěn)定時間約為30ms。

超小體積、無機械間隙、高分辨率

固態(tài)鉸鏈平行四邊形設計原理，平行運動無機械間隙，該結(jié)構(gòu)原理使其具有非常高的分辨率，運動直
線性好。
P13系列壓電納米定位臺可以很容易的安裝到其他的定位系統(tǒng)并且可以配置傳感測量裝置（應變計傳
感器）消除壓電陶瓷的遲滯與蠕變特性。P13壓電平移臺適用于動態(tài)使用，是掃描應用的理想選擇。

P13 系列壓電納米定位臺為二維 XY、三維 XYZ 壓電平臺，臺體采用平行運動學機構(gòu)放大設計原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，大位移為 37.5μm/ 軸。開環(huán)閉環(huán)版本可供選擇。產(chǎn)品主要應用于光學顯微、生物科技等領域。

超小體積、無機械間隙、高分辨率

固態(tài)鉸鏈平行四邊形設計原理，平行運動無機械間隙，該結(jié)構(gòu)原理使其具有非常高的分辨率，運動直線性好。
P13 系列壓電納米定位臺可以很容易的安裝到其他的定位系統(tǒng)并且可以配置傳感測量裝置（應變計傳感器）消除壓電陶瓷的遲滯與蠕變特性。
P13 壓電平移臺適用于動態(tài)使用，是掃描應用的理想選擇。