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  2.三維θxθyZ向壓電偏擺臺外觀形狀  

   產(chǎn)品運(yùn)動示意圖  

  閉環(huán)曲線  

  閉環(huán)傳感精度高  

   頻率負(fù)載曲線  

   仿真分析  

P51系列壓電偏轉(zhuǎn)臺為θx,θy軸偏擺Z軸升降臺，偏轉(zhuǎn)行程為±1.1mrad，Z軸直線行程可達(dá)110μm。

P51偏轉(zhuǎn)臺臺體采用無回差柔性鉸鏈導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，采用有限元分析進(jìn)行優(yōu)化，具有超高的剛度以及導(dǎo)向精度。

可選擇內(nèi)置精密傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋，確保其具有的運(yùn)動控制精度，直線運(yùn)動分辨率可達(dá)到亞納米級、偏轉(zhuǎn)分辨率達(dá)亞微弧度、定位穩(wěn)定時間為毫秒量級。

通過有限元FEA優(yōu)化的鉸鏈用于導(dǎo)向機(jī)構(gòu)偏轉(zhuǎn)臺。有限元分析技術(shù)用于設(shè)計運(yùn)動方向上zui高的剛度，并減少角度偏差。鉸鏈部分允許*精度的運(yùn)動，因為鉸鏈機(jī)構(gòu)無間隙、無摩擦。

  超薄的設(shè)計適用于顯微應(yīng)用且可負(fù)載大鏡片  

  產(chǎn)品測試  

P51壓電偏轉(zhuǎn)臺中心大通光孔達(dá)80×80mm，非常適用于需要透射光的應(yīng)用，負(fù)載后仍可高動態(tài)高精度的掃描。

P51系列偏擺/傾斜、升降臺是專門為對準(zhǔn)、納米聚焦、計量等應(yīng)用設(shè)計的，臺體非常薄，厚度僅為20mm，非常易于集成到高精度顯微鏡中。

校準(zhǔn)調(diào)測

震動實驗