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產(chǎn)品分類Product categories

N50-二維θx, θz向壓電偏擺臺

供應(yīng)數(shù)量：	3118
發(fā)布日期：	2026/7/3
有效日期：	2027/1/2
原產(chǎn) 地：	哈爾濱
已獲點(diǎn)擊：	3118
產(chǎn)品報(bào)價(jià)：

[詳細(xì)資料]

1.二維θx, θz向壓電偏擺臺特性

• θx, θz偏擺/旋轉(zhuǎn)，角度位移達(dá)±0.3mrad/軸 • zui大承載達(dá)60kg • 閉環(huán)定位精度高 • 外形堅(jiān)固 • 響應(yīng)速度快

2.二維θx, θz向壓電偏擺臺外觀形狀	產(chǎn)品運(yùn)動示意圖	閉環(huán)曲線

大承載、高精度、高頻率

頻率負(fù)載曲線

驅(qū)動測試實(shí)驗(yàn)

N50 θx, θz二維偏擺/旋轉(zhuǎn)臺是專門為空間擾動實(shí)驗(yàn)而設(shè)計(jì)的大承載偏擺系統(tǒng)，具有電容閉環(huán)幅值校正功能，可以帶60kg負(fù)載做精密偏轉(zhuǎn)，zui大行程為±0.3mrad。

N50壓電偏轉(zhuǎn)臺采用有限元分析對結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化，具有非常高的剛度，即使其在負(fù)載的情況下仍然可以實(shí) 現(xiàn)高動態(tài)，zui大頻率可以達(dá)到500Hz。

可選擇多種傳感器類型，如電容、電感、應(yīng)變計(jì)等。該產(chǎn)品已經(jīng)成功應(yīng)用于模擬空間擾動等實(shí)驗(yàn)中。

N50大負(fù)載θx, θz二維偏擺/旋轉(zhuǎn)臺需要三通道控制器進(jìn)行驅(qū)動控制，根據(jù)所需使用頻率配套不同功率的壓電控制器。如100~200Hz 使用頻率，我們推薦配套E00/E01系列控制器選擇E05驅(qū)動模塊。

3.二維θx, θz向壓電偏擺臺應(yīng)用

• 光束掃描 • 圖像處理/穩(wěn)定 • 光學(xué)、激光掃描、通信、光線偏轉(zhuǎn)、干涉/計(jì)量 • 空間擾動模擬系統(tǒng) • 光路調(diào)整 • 掩模與晶片位置調(diào)整 • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 掩模/晶圓定位 • 生物技術(shù) • 表面結(jié)構(gòu)分析

可定制

N50壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺參數(shù)可接受定制。

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楊先生