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P79系列Z向樣品升降壓電掃描臺為一維Z軸微動平臺，它的移動范圍可達(dá)210µm，定位分辨率可達(dá)3nm。

P79平臺可對樣品進(jìn)行Z軸快速精密的聚焦調(diào)節(jié)，階躍時間達(dá)毫秒量級。主要用于配套宏動XY軸運(yùn)動掃描平臺或壓電馬達(dá)平臺使用，在宏動平臺進(jìn)行樣品位置的粗調(diào)后，再通過P79壓電掃描臺進(jìn)行樣品位置的精確調(diào)整，定位精度達(dá)納米量級。

兩款規(guī)格型號、開環(huán)/閉環(huán)可選

P79系列Z向掃描臺具有兩種Z向行程范圍可供選擇，分別為110μm及210μm，可根據(jù)精確調(diào)整的運(yùn)動范圍進(jìn)行選擇。

另外，P79系統(tǒng)可提供開環(huán)及閉環(huán)版本。開環(huán)版本定位速度更快，且分辨率更高；對于有定位精度及穩(wěn)定性需求的應(yīng)用，可以選擇配置SGS閉環(huán)傳感器，裝配在平臺的位置，提供高分辨率、快速響應(yīng)的傳感電壓信號給壓電控制器。全橋設(shè)計(jì)避免了溫度的漂移，確保了定位精度。

特性

   • 一維Z向運(yùn)動，zui大行程210μm        • zui大承載2kg        • 通孔尺寸：128.5×86.5mm                       

   • 開環(huán)、閉環(huán)可選                            • 閉環(huán)重復(fù)定位精度高

       應(yīng)用

       • 熒光顯微            • 共焦顯微            • 精密定位/樣品檢測            •光學(xué)捕獲  

       • 掃描顯微            • 干涉/計(jì)量            • 自動聚焦系統(tǒng)                 • 表面檢測/3D成像

       • 光學(xué)計(jì)量            • 光學(xué)顯微成像        • SPM掃描顯微鏡            • 掩模/晶圓定位          • 生物科技