P12壓電掃描臺(tái)為壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)、1~3維并聯(lián)式平移掃描臺(tái)，臺(tái)體中心圓形通孔孔徑可選25mm或35mm，滿足顯微等應(yīng)用。壓 電掃描臺(tái)可以實(shí)現(xiàn)單軸320μm的位移行程，一體式結(jié)構(gòu)使得多維運(yùn)動(dòng)無(wú)耦合、多種規(guī)格型號(hào)可選，以滿足不同應(yīng)用的需求。 P12壓電掃描臺(tái)典型應(yīng)用 • 掃描干涉 • 共焦顯微 • 晶圓定位 • 表面測(cè)量 • 圖像處理與穩(wěn)定 • 光學(xué)捕獲 P12壓電掃描臺(tái)特性 • zui大位移320μm • zui大承載0.8kg • 臺(tái)體中心通孔 • 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 1~3維掃描臺(tái) P12系列壓電納米定位臺(tái)為1~3維直線壓電掃描臺(tái)，包 括X、Z、XY、XZ、XYZ等多種規(guī)格型號(hào)，通孔直徑25mm 或35mm可選。 小體積、大位移、中心通孔 P12系列壓電掃描臺(tái)采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，超小的體 積外形，尺寸僅為60×60×24mm，可以實(shí)現(xiàn)zui大320μm 的掃描范圍，中心通孔可選25mm或35mm，35mm通孔 對(duì)應(yīng)臺(tái)體外形尺寸為70×70×24mm。 臺(tái)體采用FEA有限元分析優(yōu)化設(shè)計(jì)，具有零摩擦、超高 導(dǎo)向精度、納米級(jí)分辨率等優(yōu)點(diǎn)。 P12系列壓電掃描臺(tái)內(nèi)置高可靠性表面絕緣壓電陶瓷， 確保了掃描臺(tái)的可靠性與穩(wěn)定性。  P12.Z300閉環(huán)穩(wěn)定時(shí)間圖
P12系列壓電掃描臺(tái)具有優(yōu)異的階躍穩(wěn)定性，下圖為P12.Z300zui 大位移320μm閉環(huán)穩(wěn)定時(shí)間圖。 P12壓電掃描臺(tái)技術(shù)參數(shù)： 型號(hào) | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開(kāi)環(huán) | P12.X100S P12.X100K | P12.Z100S P12.Z100K | P12.Z200S P12.Z200K | P12.Z300S P12.Z300K | P12.XY100S P12.XY100K | P12.XYZ100S P12.XYZ100K | 單位 | 運(yùn)動(dòng)自由度 | X | Z | Z | Z | X、Y | X、Y、Z | | 標(biāo)稱行程范圍(0~120V) | 80 | 80 | 160 | 240 | 80/軸 | 80/軸 | μm±20% | zui大行程范圍(-20~150V) | 110 | 110 | 210 | 320 | 110/軸 | 110/軸 | μm±20% | 傳感器類型 | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- | | 通孔尺寸 | Ø25/Ø35 | Ø25/Ø35 | Ø25/Ø35 | Ø25/Ø35 | Ø25/Ø35 | Ø25/Ø35 | mm | 閉/開(kāi)環(huán)分辨率 | 7/4 | 7/4 | 7/4 | 11/5 | 7/4 | 7/4 | nm | 閉環(huán)線性度 | 0.05/- | 0.05/- | 0.1/- | 0.4/- | 0.05/- | 0.15/- | %F.S. | 閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.01/- | 0.01/- | 0.03/- | 0.15/- | 0.03/- | 0.05/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滾動(dòng) | <10 | <10 | <15 | <15 | <10 | <15 | µrad | 推/拉力 | 30/10 | 30/10 | 30/10 | 30/10 | 25/8 | 20/4 | N | 運(yùn)動(dòng)方向剛度 | 0.3 | 0.3 | 0.2 | 0.1 | X0.25/Y0.3 | X0.3/Y0.25/Z0.2 | N/μm±20% | 空載諧振頻率 | 230 | 220 | 150 | 100 | X180/Y230 | X230/Y180/Z150 | Hz±20% | 閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間 | 10/0.8 | 10/0.8 | 15/1.6 | 30/2.4 | 15/0.8 | 30/0.8 | ms±20% | 閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 100 | 100 | 50 | 30 | 100 | 50 | Hz±20% | 行程 | 9 | 10 | 5 | 3 | 9 | 5 | zui大承載 | 0.8 | 0.8 | 0.5 | 0.4 | 0.7 | 0.6 | kg | 靜電容量 | 1.8 | 1.8 | 3.6 | 5.4 | 1.8/軸 | 1.8/軸 | μF±20% | 材質(zhì) | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | | 重量 | 140 | 140 | 200 | 260 | 200 | 260 | g±5% |
以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測(cè)得。 |
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