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金屬密封型壓電促動器因外殼做了全密封，實現(xiàn)了與大氣環(huán)境的絕緣，進而受環(huán)境濕度影響較小，具有更長的使用壽命和更高性能，非常適用于需要高可靠性的半導(dǎo)體器件制造設(shè)備和光通信設(shè)備等各種應(yīng)用。《查看更多》

VH13 系列金屬密封壓電促動器可實現(xiàn)一維 Z 向位移，有 42μm、46μm 兩種行程可選。由于與大氣絕緣，受環(huán)境濕度的影響要小得多。具有更長的使用壽命和更高性能，適用于需要高可靠性的半導(dǎo)體器件制造設(shè)備和光通信設(shè)備等各種應(yīng)用中使用。《查看更多》